三維掃描儀精度是掃描后得到的三維模型真實反映掃描工件實際尺寸的情況。三維掃描儀的精度，除了跟硬件的配置有關，更重要的與三維掃描軟件的拼接算法有關。三維掃描儀的精度是判斷三維掃描儀性能好壞的重要參數，如何驗證三維掃描儀的精度因此顯得很關鍵。在選擇三維掃描儀的過程中，用戶往往以為設備能夠掃描出整體模型，細節看上去還不錯，精度就會沒問題，實際上，能夠掃描出整體模型或者模型的細節看上去不錯，并不能真實的反映出三維掃描儀的精度。
驗證三維掃描儀的精度時，我們可以拿一個物體，先用三維掃描儀掃描這個物體得到三維模型，在測量軟件中測量三維模型一些部位的尺寸，然后拿微米級精度的三坐標測量同一個物體的對應尺寸，然后將測量軟件中的尺寸值與三坐標中的尺寸值做對比，通過兩個尺寸值之間的差距，判斷三維掃描儀的精度高低；或者拿一個標準量塊，用三維掃描儀掃描標準量塊，獲得量塊的三維模型，然后在測量軟件中測量量塊三維模型標準值相對應的尺寸，判斷測量尺寸與標準量塊實際尺寸的差值，通過這個差值判斷三維掃描儀的精度高低。
有些三維掃描儀，在掃描一些簡單的模型時，看上去沒有瑕疵，但在掃描一些復雜物體時，掃描的三維模型數據質量就很差。比如有些三維掃描儀掃描一些大尺寸物體時由于拼接能力不強，會出現起初的掃描數據和隨后的掃描數據拼接不上，導致數據沒法用；還有一些三維掃描儀，在掃描薄壁物體時，由于不能進行雙邊過渡進行拼接，會出現掃描數據拼接時在有薄壁的兩面錯層了。下圖是掃描0.5mm厚的薄壁工件得到的錯層的三維模型，下圖是該薄壁工件錯層的三維模型的截面圖。
（薄壁工件）
（三維模型）
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